sem是什么检测仪器

SEM是 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）的缩写。它是一种利用高能电子束扫描样品表面，通过检测次级电子或反射电子等信号，形成样品表面形貌和组成的高分辨率图像的仪器。

SEM的基本工作原理是利用高能电子束对样品表面进行逐点扫描，通过检测电子与样品相互作用产生的各种信号，如二次电子、背散射电子和X射线等，来获取样品表面的形貌、成分和结构信息。与光学显微镜相比，SEM具有更高的放大倍数和分辨率，可达到纳米级别，使我们能够观察到样品表面的精细结构，如纳米颗粒、病毒、细胞器等。

SEM主要由电子枪、电磁透镜系统、扫描线圈、样品室和探测器等部分组成。电子枪产生高能电子束，电磁透镜将电子束聚焦成纳米级的细小探针，扫描线圈控制电子束在样品表面上的扫描，样品室用于放置待测样品，探测器则用于接收样品与电子束相互作用产生的信号。

SEM在材料科学、生命科学、半导体、锂电池等领域具有重要应用价值，可以用于观察样品的微观结构、元素分布、晶体取向、应力分析等。同时，SEM还可以配备X射线能谱仪（EDS），实现样品表面形貌的观察和微区成分分析。