薄膜探针是什么
薄膜探针是一种 **利用MEMS技术制作的微型化探针** ，其特点在于微小化、轻量化，并且能够满足日益增长的高精度测试要求。薄膜探针主要应用于以下领域：
**晶圆检测（Chip Probing）** ：在半导体制造过程中，用于检测晶圆的电气性能。
**出厂测试（Final Test）** ：确保产品在出厂前符合所有性能标准。
**平面显示器（Flat Panel Display FPD）测试** ：包括OLED、Micro LED、AMOLED等显示器的点亮和老化测试。
薄膜探针的制作涉及三项关键技术：薄膜技术、微机电制程技术和电镀技术。这些技术的结合使得薄膜探针能够应用于各种高科技产品的测试中，从半导体产业到光电产业，甚至未来的生医产业。
此外，接触式薄膜探针的设计和应用也在不断进步。例如，通过增设缓冲层来减少探针与显示器线路的直接接触力道，从而提高使用寿命。同时，也有研究关注如何制造不会损伤显示面板的氧化铟锡（ITO）电极的薄膜探针。
综上所述，薄膜探针是一种先进的测试探针技术，广泛应用于高科技产品的精密测试中，具有广泛的应用前景和不断发展的技术优势。
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