半导体doe是什么

半导体DOE是 Design of Experiment的简称，即 试验设计。它是一种通过合理安排实验来有效收集数据、分析因素间交互作用，从而快速找到最优解决方案的统计方法。在半导体工程研发中，DOE是研究实验变量敏感性及其对器件性能影响的重要工具。通过精心设计DOE，工程师可以使用有限的实验晶圆及试验成本实现半导体器件的目标性能。DOE在半导体设计和制造领域具有广泛应用，包括优化工艺流程、提高产品质量、降低成本等。